- [凯发一触即发动态]半导体含砷废气处理设备[ 2023-12-29 00:00 ]
- 半导体工业是现代工业的重要组成部分,其生产过程中会产生大量的废气。其中,含砷废气是一种难以处理的有毒废气,因其含有高浓度的砷元素,对人体和环境造成的危害性非常大。因此,半导体含砷废气处理一直是工业领域的难题。 半导体含砷废气的成分 半导体含砷废气的主要成分是砷化氢(sH3)和三甲基砷(TM)。其中,砷化氢是一种无色、有毒、易燃的气体,具有强的损伤作用,能破坏人体细胞的DN,导致中毒;而三甲基砷则是一种有机砷化合物,同样具有毒性。 半导体含砷废气的治理方法
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